47F/85/FDIS:2011-05
Halbleiterbauelemente -
Bauelemente der Mikrosystemtechnik Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik